ガスバリア性フィルムおよび電子デバイス

摘要

本発明は、ポリシラザンを含有する層を真空紫外線照射処理してなる第１ガスバリア層と、ポリシラザンを含有する層を真空紫外線照射処理してなる第２ガスバリア層と、前記第１ガスバリア層および前記第２ガスバリア層との間に配置され、かつ金属化合物粒子を含む疎水性の中間層と、を有する、ガスバリア性フィルムに関する。本発明によると、非常に優れたガスバリア性および耐久性、並びに良好な生産性を有するガスバリア性フィルムを提供しうる。