| 发明名称 |
用于聚合物表面与载具之受控接合之物件及方法;ARTICLES AND METHODS FOR CONTROLLED BONDING OF POLYMER SURFACES WITH CARRIERS |
| 摘要 |
一种具有聚合物接合表面之基板，该聚合物接合表面具有第一表面能量；一种具有玻璃接合表面之载具，该玻璃接合表面具有第二表面能量；以及一种电浆聚合表面改质层，其将该聚合物接合表面可释放地接合至该玻璃接合表面。该电浆聚合层可经形成以便在接合之前减小该玻璃接合表面之该表面能量。而且在具有120℃之温度的环境中经受一小时真空退火之后，该基板可非破坏地与该载具脱接合。 |
| 申请公布号 |
TW201545887 |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
| 申请号 |
TW104102736 |
申请日期 |
2015.01.27 |
| 申请人 |
康宁公司 CORNING INCORPORATED |
发明人 |
贝尔曼罗伯特艾伦 BELLMAN, ROBERT ALAN;曼利罗伯乔治 MANLEY, ROBERT GEORGE;玛赞德普兰汀 MAZUMDER, PRANTIK;席蒙顿克斯提林 SIMONTON, KRISTI LYNN |
| 分类号 |
B32B37/00(2006.01);B32B37/26(2006.01);B32B27/16(2006.01);B32B17/10(2006.01);B32B7/02(2006.01);B32B7/06(2006.01);H05H1/46(2006.01);H01L21/67(2006.01);G09F9/00(2006.01) |
主分类号 |
B32B37/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
