一种提高波导与光纤耦合效率的方法

摘要

本发明是一种提高波导与光纤耦合效率的方法。该方法包括，在制作好的波导表面淀积二氧化硅，将波导完全包裹住，然后刻蚀二氧化硅至衬底硅，形成二氧化硅波导包裹硅波导的耦合端结构，然后将衬底硅向内刻蚀10微米至50微米，形成10微米至50微米的二氧化硅波导包裹硅波导的悬空耦合端结构。本发明有效地提高了耦合结构对光场的限制能力，降低了倒锥形耦合结构端头的弥散损耗，消除了光场扩散后向衬底的泄漏损耗，提高与光纤的耦合效率。

主权项

1、一种提高波导与光纤耦合效率的方法，其特征在于，包括以下步骤：在纳米线波导顶层淀积二氧化硅；对二氧化硅进行光刻和干法刻蚀，刻蚀二氧化硅至衬底；在输入/输出端向内刻蚀衬底；在输入/输出端的耦合结构处形成波导结构。