发明名称
摘要
申请公布号 JP4241106(B2) 申请公布日期 2009.03.18
申请号 JP20030066926 申请日期 2003.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/20;H01L27/04;H01L27/095;H01L29/26;H01L31/10;H01S5/026;H01S5/323 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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