屏蔽壳和具有屏蔽壳的微机电系统传声器

摘要

一种屏蔽壳和具有该屏蔽壳的MEMS传声器，该屏蔽壳可以保证在顶板上从气密性角度的用于附着垫圈的最小距离。用于将安装在基板上的MEMS芯片与外部屏蔽的屏蔽壳包括顶板和多个侧板，且该多个侧板的厚度大于该顶板的厚度。采用这种构造，与具有均匀厚度的传统屏蔽壳相比，顶板的面积可以扩大。因此，用于将垫圈附着到顶板的区域可以得到保证而不改变传统屏蔽壳的夹持区域的位置、尺寸、范围等。

主权项

1.一种屏蔽壳，用于将安装在基板上的微机电系统芯片与外部屏蔽，所述屏蔽壳包括:顶板；以及多个侧板，其中所述多个侧板的每一个的厚度大于所述顶板的厚度。