曝光装置及其用以制作彩色滤光片的方法

摘要

本发明公开了一种光致抗蚀剂涂覆及曝光的方法，包括有下列步骤：首先，提供一基板，之后，再提供一光致抗蚀剂涂覆器，以在此基板上涂覆多个条状光致抗蚀剂区，接着，提供一曝光光置，该曝光装置含有一光源，用来产生一曝光用的光线，另含有一具有预定图案的光掩模，置于此光源与此基板之间。然后，对此多个条状光致抗蚀剂区进行一曝光程序，通过此基板与此光掩模的一相对性移动，使此光掩模上的预定图案被转写成此基板上的一条状曝光图案。

主权项

1.一种制作彩色滤光片的方法，包括有下列步骤：提供一基板；提供一光致抗蚀剂涂覆器，以在该基板上涂覆多个条状光致抗蚀剂区；提供一光源，用来产生一曝光用的光线；提供一具有预定图案的光掩模，置于该光源与该基板之间；以及在对该多个条状光致抗蚀剂区进行一曝光程序时，通过该基板与该光掩模的一相对性移动，使该光掩模上的预定图案被转写成该基板上的一条状曝光图案。