| 发明名称 | 光子晶体生物传感器结构以及制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种制造传感器的方法。在一种实施方案中，该方法包括在纳米多孔薄膜上图案化亚波长周期光栅，然后在该图案化的纳米多孔薄膜上沉积高介电常数材料。在另一种实施方案中，所述的方法包括在纳米多孔薄膜上沉积并图案化高介电常数材料。 | ||
| 申请公布号 | CN101263378A | 申请公布日期 | 2008.09.10 |
| 申请号 | CN200680033125.8 | 申请日期 | 2006.06.29 |
| 申请人 | 伊利诺伊大学评议会 | 发明人 | B·T·坎宁安;I·布洛克;L·L·－Y·陈 |
| 分类号 | G01N21/25(2006.01);G01N33/52(2006.01);G02B5/18(2006.01) | 主分类号 | G01N21/25(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 庞立志;李连涛 |
| 主权项 | 1.一种制造传感器的方法，该方法包括：(a)将液体弹性体放入亚波长周期光栅结构模具中，并固化该液体弹性体来形成阴模；(b)从所述的模具中取出该阴模；(c)将所述的阴模置入未固化的纳米多孔薄膜中，其中所述的未固化纳米多孔薄膜通过基材进行支撑；(d)使纳米多孔薄膜完全固化、部分固化或未固化；(e)从所述的完全固化、部分固化或未固化的纳米多孔薄膜中取出该阴模；(f)在所述的完全固化、部分固化或未固化的纳米多孔薄膜上沉积高介电常数介电材料，其中形成传感器。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||