红外线感测器

摘要

红外线感测器包含有基底及形成于基底之一表面侧的红外线检测元件，红外线检测元件包含有：吸收红外线且呈薄膜状之红外线吸收体；检测红外线吸收体与基底之温度差的感温体；及补偿膜。红外线吸收体系配置于基底之前述表面侧，且在与基底间具有热绝缘用之间隙。感温体具备：p型聚矽层及n型聚矽层，其形成为横跨红外线吸收体与基底；及连接层，其于红外线吸收体上将p型聚矽层与n型聚矽层电连接。补偿膜系聚矽膜，其于属于红外线吸收体中的基底之相对侧面之红外线入射面上，形成为覆盖该红外线入射面。