使用掺质层遮罩之混合异接面太阳能电池制造

摘要

本发明之实施例包含利用新颖的处理程序来形成太阳能电池装置，进而形成高效率之太阳能电池。在一实施例中，方法包括形成掺质层至基板背面、加热掺质层和基板，促使掺质层扩散进入基板背面、在加热掺质层和基板后，织构基板正面、形成介电层至基板背面、移除背面的部分介电层，以形成复数个基板露出区域、以及沉积金属层至基板背面，其中金属层电性连接至少一基板露出区域，且至少一露出区域具有掺质层提供的掺质原子。