ウエハーエッチング装置及びこれを用いたウエハーエッチング方法

摘要

本発明はＳｉウエハーをドライ方式に高速でエッチングできるウエハーエッチング装置及びそれを用いたウエハーエッチング方法を提供する。前記ウエハーエッチング装置及びそれを用いたウエハーエッチング方法は容量結合形プラズマユニットまたは誘導結合形プラズマユニットとリモートプラズマユニットを同時に装着してウエハーを高速でエッチングして前記ウエハーのエッチング作業時間を大幅に短縮させることができ、チャックの上部面が不均一な表面を有するように荒く加工されて上部面とウエハーとの間に微細空間が形成されるようにして前記微細空間を通じて冷却ガスであるヘリウムガスを供給して前記ウエハーを冷却できるようにすることにより、前記グルーブによって発生される所望しない微細空間によるプラズマが発生される現象を防止して不必要なプラズマによってウエハーが損傷される現象を防止することができる。