发明名称 半導体装置の製造方法、接続子、半導体装置及び整列治具
摘要
申请公布号 JP5832885(B2) 申请公布日期 2015.12.16
申请号 JP20110279024 申请日期 2011.12.20
申请人 新電元工業株式会社 发明人 佐々木 敦
分类号 H01L21/60;H01L21/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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