主权项 |
一种激光跟踪仪测长精度标定装置,其特征是,光学平台(2)上从左至右依次设置激光跟踪仪(8)、双频激光干涉仪(1)、干涉镜组夹具(4)和直角棱镜组夹具(11),干涉镜组夹具(4)由下往上依次放置干涉镜组(3)、双频激光干涉仪目标反射镜(13)、激光跟踪仪反射靶镜组(14),其中干涉镜组(3)由垂直纸面方向连接的干涉分光镜(3‑1)和干涉反射镜(3‑2)组成,直角棱镜组夹具(11)上放置直角棱镜组(12),直角棱镜组(12)由下往上依次为第二直角棱镜(12‑2)、第一直角棱镜(12‑1)、第三直角棱镜(12‑3)、第四直角棱镜(12‑4);光学平台(2)右侧放置虚拟导轨(5),五棱镜组(9)放置在虚拟导轨(5)上,五棱镜组(9)由下往上依次为第一五棱镜(9‑1)和第二五棱镜(9‑2);双频激光干涉仪(1)出射光束经干涉镜组(3)中的干涉分光镜(3‑1)后分为两束,第一束经干涉分光镜(3‑1)后水平出射,并依次经五棱镜(9‑1)和五棱镜(9‑2)反射,再水平出射并对准双频激光干涉仪目标反射镜(13)中心,原路返回后对准双频激光干涉仪(1)的辅助对准光阑中心,第二束经干涉分光镜(3‑1)后进入干涉反射镜(3‑2),原路返回后对准双频激光干涉仪(1)的辅助对准光阑中心;激光跟踪仪(8)出射光束依次经过第一直角棱镜(12‑1)和第二直角棱镜(12‑2)反射并水平出射,再依次经第一五棱镜(9‑1)和第二五棱镜(9‑2)反射后水平出射,再依次经过第三直角棱镜(12‑3)和第四直角棱镜(12‑4)后水平出射,并对准激光跟踪仪反射靶镜组(14)中的激光跟踪仪反射靶镜(14‑1)中心,原路返回后进入激光跟踪仪(8)内部干涉系统及跟踪系统;该装置还包括位置敏感探测器组(6)和位置敏感探测器组夹具(7),位置敏感探测器组(6)由第一位置敏感探测器(6‑1)和第二位置敏感探测器(6‑2)组成,并由下往上依次固定在位置敏感探测器组夹具(7)上;用于调平虚拟导轨(5)和激光跟踪仪(8)光束以及调节测量光路与参考光路的平行度。 |