用于电子束侦测之系统;SYSTEM FOR ELECTRON BEAM DETECTION

摘要

本发明揭示电子束侦测装置，其包含第一孔隙元件，该第一孔隙元件包含第一组孔隙。该装置包含第二孔隙元件，该第二孔隙元件包含第二组孔隙。第二组孔隙配置成与该第一复数个孔隙之图案对应之一图案。侦测装置包含一电光转换元件，其经组态以接收透过该第一孔隙元件及该第二孔隙元件传输之电子束之电子。电光转换元件经组态以回应于所接收之电子而产生光子。侦测装置包含一光学总成，该光学总成包含一或多个光学元件。侦测装置包含一侦测器总成。光学总成之该等光学元件经组态以将由该电光转换系统所产生之光子引导至该侦测器总成。