发明名称 具有异质结和改进的沟道控制的FinFET
摘要 粗略地描述,一种计算机程序产品描述了具有鳍、鳍支撑部、栅极和栅极电介质的晶体管。鳍包括第一晶体半导体材料,该第一晶体半导体材料包括在第一晶体管的源极区域和该晶体管的漏极区域之间的该晶体管的沟道区域。鳍在鳍支撑部上。鳍支撑部包括与第一晶体半导体材料不同的第二晶体半导体材料。鳍的第一晶体半导体材料和鳍支撑部的第二晶体半导体材料在其间形成第一异质结。栅极、栅极电介质和/或隔离电介质可以被定位以改进沟道内的控制。
申请公布号 CN105164809A 申请公布日期 2015.12.16
申请号 CN201480024529.5 申请日期 2014.06.26
申请人 美商新思科技有限公司 发明人 V·莫洛兹;S·L·史密斯;吕强
分类号 H01L29/66(2006.01)I 主分类号 H01L29/66(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 王茂华
主权项 一种计算机程序产品,包括:非瞬态存储器设备,具有存储在其上的电路的物理实现的机器可读规格,所述电路包括第一晶体管,所述第一晶体管包括:第一鳍,包括第一晶体半导体材料,所述第一晶体半导体材料包括在所述第一晶体管的源极区域和所述第一晶体管的漏极区域之间的所述第一晶体管的第一沟道区域,所述第一鳍在第一鳍支撑部上;所述第一鳍支撑部,包括与所述第一晶体半导体材料不同的第二晶体半导体材料,所述第一鳍的所述第一晶体半导体材料和所述第一鳍支撑部的所述第二晶体半导体材料在其间形成第一异质结;第一栅极;以及第一栅极电介质,具有内表面和连接到所述第一栅极的外表面,所述内表面包括:(i)连接到与所述第一异质结相邻的所述第一鳍的第一部分和(ii)连接到与所述第一异质结相邻的所述第一鳍支撑部的第二部分。
地址 美国加利福尼亚州