发明名称 用于布置基材的装置
摘要
申请公布号 TWM513886 申请公布日期 2015.12.11
申请号 TW103222721 申请日期 2014.12.23
申请人 爱思强欧洲公司 发明人 博伊德 亚登;费隆 奥利维尔;陈晓军;格林 科斯蒂 路易丝
分类号 C23C16/54 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项 一种用于布置基材的装置,具有多个布置在水平面内的、分别被支承圆(6)围绕的、分别用于圆盘状基板(3)的支承座(4),所述装置还具有多个在相邻的支承座(4)之间布置的支架(2、12),所述支架(2、12)空间上相互分隔并且具有定心侧面(5),所述定心侧面(5)分别沿着位于水平面内的圆弧线延伸,其中,多个分别位于支承座(4)侧面且分别配属于相互不同的支架(2、12)的定心侧面(5)各自构成贴靠位置(7),用于接触地贴靠所述基板(3)的边缘(3’)的部段,其特征在于:多个分别位于支承座(4)侧面的定心侧面(5)沿着相互不同的圆弧线延伸,该圆弧线的半径(RP)分别大于所述支承圆(6)的半径(RW),并且所述定心侧面(5)仅在相应的贴靠位置(7)上与所述支承圆(6)相切。
地址 德国