制造薄膜晶体管基板及使用它的有机发光显示装置的方法

摘要

本发明涉及一种制造薄膜晶体管基板的方法，包括：在玻璃基板上形成聚合物层；在所述聚合物层上形成钝化层；在所述钝化层上形成薄膜晶体管阵列；以及通过从所述玻璃基板的后表面照射激光，将所述玻璃基板与所述聚合物层分离。

主权项

一种制造薄膜晶体管基板的方法，包括：直接在玻璃基板上形成聚合物层；在所述聚合物层上形成钝化层；在所述钝化层上形成薄膜晶体管阵列；以及从所述玻璃基板的后表面向所述聚合物层照射激光，将所述玻璃基板与所述聚合物层分离，其中所述聚合物层包括具有第一化学式的聚酰亚胺材料，[第一化学式]其中X为烷基、芳基、烷氧基、酰基、芳烷基、氨基、芳氨基、烷氨基、芳烷氨基、烷氧基、芳氧基或芳烷氧基，其中m为等于或大于1并且等于或小于10000的整数，并且其中Y为由第二化学式表示的二价芳基部分，[第二化学式]其中Z选自由羰基、磷酸基、酸酐基、硫醇基以及它们的混和物组成的组。