| 摘要 |
Es wird eine Positionsmessvorrichtung für ein metallisches Target (22) vorgeschlagen, umfassend eine Sendespuleneinrichtung (24), eine Empfangsspuleneinrichtung (26), wobei die Sendespuleneinrichtung (24) und/oder die Empfangsspuleneinrichtung (26) mindestens eine erste Spule (30) und eine zweite Spule (32) in einer Differenzanordnung oder Differenzansteuerung aufweisen, eine Mehrzahl von Lagen, in welchen Spulen (28, 30, 32) der Sendespuleneinrichtung (24) und Empfangsspuleneinrichtung (26) angeordnet sind, und eine Abschirmeinrichtung (48), welche einen ersten Bereich (50) aus elektrisch leitfähigem Material und einen zweiten Bereich (52) aus magnetisch leitfähigem Material aufweist. |
