磁力轴承装置和具备该磁力轴承装置的真空泵

摘要

【课题】提供一种通过省略为了得到磁力轴承的控制电源电压而使用的DC/DC转换器来谋求电路的低成本化、小型化的磁力轴承装置和具备该磁力轴承装置的真空泵。【解决方案】具备：位置检测单元，对旋转体的半径方向位置和轴向位置进行检测；磁力轴承单元，基于由位置检测单元检测的半径方向位置和轴向位置并且通过电磁铁来控制半径方向位置和轴向位置；励磁电路，包含使电磁铁与电源之间断开接通的开关元件；电磁铁电流检测单元，对在电磁铁中流动的电流进行信号检测；电源电压检测单元，对电源的电压进行信号检测；以及脉冲宽度运算单元，按照每个定时运算对开关元件进行脉冲控制的脉冲宽度，脉冲宽度基于由电源电压检测单元检测的电源的电压和由电磁铁电流检测单元检测的电流来运算。

主权项

一种磁力轴承装置，其特征在于，具备：旋转体；位置检测单元，对该旋转体的半径方向位置或轴向位置进行检测；磁力轴承单元，通过电磁铁来控制该半径方向位置或该轴向位置；励磁电路，包含使所述电磁铁与电源之间断开接通的开关元件；电磁铁电流检测单元，检测在所述电磁铁中流动的电流；电源电压检测单元，检测所述电源的电压；以及脉冲宽度运算单元，按照每个定时运算对所述开关元件进行脉冲控制的脉冲宽度，所述脉冲宽度基于由所述电源电压检测单元所检测的所述电压和由所述电磁铁电流检测单元所检测的所述电流来运算。