对位标记、衬底和掩膜板

摘要

本实用新型涉及一种对位标记。该对位标记包括沿横向方向延伸的第一对位部，以及沿纵向方向延伸的第二对位部，该对位标记还包括沿第三方向延伸的第三对位部，所述第三方向与所述横向方向之间的夹角为锐角或钝角。该对位标记，可以实现三个方向的对位，特别是在横纵两个方向不易对位或者无法对位时，例如易变性的衬底时，第三对位部可以快速简单的对位，从而提高对位精度。本实用新型还提供了一种含有上述对位标记的衬底和掩膜板。

主权项

一种对位标记，其包括：沿横向方向延伸的第一对位部，以及沿纵向方向延伸的第二对位部，其特征在于：所述对位标记还包括沿第三方向延伸的第三对位部，所述第三方向与所述横向方向之间的夹角为锐角或钝角。