一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备

摘要

本发明的实施例提供一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备，涉及显示技术领域，可一定程度减少分束器受到污染的几率，提高经过分束器后激光束的均一性。该分束器包括透过区域和反射区域，所述透过区域为通孔，所述反射区域设置于所述通孔的外围，其中，所述通孔，用于透射接收到的第一激光束；所述反射区域，用于反射接收到的第一激光束。该分束器可应用于激光发生器中，实现退火扫描工艺。

主权项

一种分束器，其特征在于，包括透过区域和反射区域，所述透过区域为通孔，所述反射区域设置于所述通孔的外围，其中，所述通孔，用于透射接收到的第一激光束；所述反射区域，用于反射接收到的第一激光束。