| 主权项 |
一种基板保持装置，具备：复数个基板保持体；支持机构，以排列于第1方向之方式支持复数个上述基板保持体，且变更复数个上述基板保持体于上述第1方向上之间距；保持部，以如下方式构成，即，包含设置于各个上述基板保持体且可相对于上述基板保持体移动之1个以上之可动保持构件，藉由上述可动保持构件，以使与复数个上述基板保持体相对应之复数个基板排列于上述第1方向之方式握持该基板；可动体，可于与上述第1方向交叉之第2方向及其相反方向之第3方向上移动，且以使1个以上之上述可动保持构件随着上述移动而移动之方式，设置于各个上述基板保持体；施压机构，于上述第2方向上对上述可动体施压，且以使上述可动保持构件与上述基板接触而推压握持该基板之方式，设置于各个上述基板保持体；以及压回机构，包含压回部，该压回部使分别设置于复数个上述基板保持体之上述可动体于上述第3方向上，抵抗上述弹压力而移动，而解除上述可动保持构件对于上述基板之推压保持，且上述压回机构可使上述压回部位于不与上述可动体接触之待机位置。 |
