金属-氧化物-金属电容器结构

摘要

本发明公开一种金属-氧化物-金属电容器，其包括第一电极、第二电极、多个第一指状物和多个第二指状物。每个第一指状物和与其相应的第二指状物互相平行并且通过低k电介质材料分隔开。采用保护环包围金属-氧化物-金属电容器以防止潮湿渗透进低k电介质材料。本发明还提供了一种金属-氧化物-金属电容器结构。

主权项

一种金属‑氧化物‑金属电容器结构包括：金属‑氧化物‑金属电容器，所述金属‑氧化物‑金属电容器包括低k电介质绝缘层；和保护环，所述保护环包围金属‑氧化物‑金属电容器，其中所述保护环配置成防止潮湿渗透进低k电介质绝缘层；所述保护环包括：在第一金属‑氧化物‑金属层中的第一导电元件；以及在第二金属‑氧化物‑金属层中的第二导电元件，其中所述第一导电元件通过在所述第一金属‑氧化物‑金属层和所述第二金属‑氧化物‑金属层之间的电介质层中的多个通孔插塞与第二导电元件连接。