MEMS一体化IMU温度补偿改进方法

摘要

本发明是一种基于MEMS一体化IMU温度补偿的改进方法，使用MEMS器件内部温度传感器，对MEMS陀螺仪的振动进行补偿，同时将滤波后的温度输出，用于IMU的部件级补偿。为了减小温度对MEMS陀螺振动频率的影响，采用内部温度传感器进行温度补偿。由于温度变化会增加补偿噪声，本发明为了减小温度变化对补偿效果的影响，对温度传感器输出的温度进行滤波，使用平稳的温度数据进行建模补偿。同时，将滤波后的温度数据输出，使用同一个温度对陀螺仪和IMU进行温度补偿，增强了MEMS陀螺和IMU部件补偿的一致性。

主权项

本发明是一种基于MEMS一体化IMU的温度补偿改进方法，使用MEMS器件内部温度传感器，对MEMS陀螺仪的振动进行补偿，同时将滤波后的温度输出，用于IMU的部件级补偿。