| 发明名称 | 复合基板和功能元件 | ||
| 摘要 | 当在具备蓝宝石基板、以及在蓝宝石基板上通过结晶生长的氮化镓结晶层的复合基板中，在其上形成由13族元素的氮化物形成的功能层时，抑制功能层的偏差。复合基板(4)具备蓝宝石基板(1A)、以及在蓝宝石基板(1A)上设置的氮化镓结晶层(3)。复合基板(4)的翘曲度为，每5.08cm，+40μm以上、+80μm以下。 | ||
| 申请公布号 | CN105102695A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201480019026.9 | 申请日期 | 2014.12.15 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 岩井真;今井克宏;坂井正宏 |
| 分类号 | C30B29/38(2006.01)I;C30B19/02(2006.01)I;C30B25/20(2006.01)I;H01L21/208(2006.01)I;H01L33/32(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 李晓 |
| 主权项 | 一种复合基板，其是具备蓝宝石基板、以及在所述蓝宝石基板上设置的氮化镓结晶层的复合基板，其特征在于，所述复合基板的翘曲度为，每5.08cm，+40μm以上、+80μm以下。 | ||
| 地址 | 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号 | ||