| 发明名称 | 一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于PCR技术领域，具体涉及一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法。该芯片主要包括上盖和芯片，其中在芯片上有蜂窝状排列的微孔，上盖固定于芯片槽上。具体步骤为选择一单面抛光的硅片，清洗，在硅片抛光面上旋涂一层均匀的光刻胶，通过曝光形成圆形的图形阵列，在圆形的图形阵列掩膜下干法刻蚀硅，形成微孔结构，去胶划片，完成芯片制备。 | ||
| 申请公布号 | CN105039153A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510338390.8 | 申请日期 | 2015.06.17 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 俞育德;魏清泉;刘勇;李钊;孙英男;刘文文;蒋莉娟 |
| 分类号 | C12M1/38(2006.01)I;C12M1/00(2006.01)I | 主分类号 | C12M1/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
| 主权项 | 一种阵列微反应池数字PCR芯片，其特征在于，所述芯片(12)设置有列阵的微孔(13)，芯片(12)上方有上盖(18)。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||