ZUSAMMENGESETZTE KONTAKTSTÖPSEL-STRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG

摘要

Ein Kontaktstöpsel einer Ausführungsform umfasst eine Zwei-Schichten-Struktur und eine Diffusionsbarriere-Schicht und eine Bodenfläche der Zwei-Schichten-Struktur. Die Zwei-Schichten-Struktur umfasst einen leitenden Kern und eine leitende Auskleideschicht auf einer Seitenwand und einer Bodenfläche des leitenden Kerns. Bei dem Kontaktstöpsel der Ausführungsform umfasst die leitende Auskleideschicht Kobalt oder Ruthenium.