| 发明名称 | 检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明的检查装置，包括：检查单元，检查基板的通电状态；及转位单元，通过旋转运动将上述基板移送至上述检查单元。本发明的检查装置可迅速可靠地检查基板的通电状态。 | ||
| 申请公布号 | CN105021940A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201410179190.8 | 申请日期 | 2014.04.30 |
| 申请人 | 佰欧特株式会社 | 发明人 | 金完洙;郑相宪 |
| 分类号 | G01R31/02(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 张敬强;严星铁 |
| 主权项 | 一种检查装置，包括：检查单元，检查基板的通电状态；及转位单元，通过旋转运动将上述基板移送至上述检查单元。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||