真空阀

摘要

线圈电极(9、11)包括：环部(17)，该环部(17)与固定侧及可动侧电极棒(4、7)的轴线同心地设于与供线圈电极(9、11)安装的固定侧及可动侧电极棒(4、7)的轴线正交的平面上；多根臂部(18、22)，这些臂部(18、22)从环部(7)的外周朝外侧延伸；圆弧状的线圈部(19、23)，该线圈部(19、23)从臂部(18、22)的前端侧朝周向折曲；以及狭缝部(20、24)，该狭缝部(20、24)分割所述线圈部(19、23)，线圈电极(9)的臂部(18)和线圈电极(11)的臂部(22)以从固定侧电极棒(4)及可动侧电极棒(7)的轴向观察时彼此重叠的方式朝相同方向配置。

主权项

一种真空阀，包括：固定侧电极棒，该固定侧电极棒固设于有底圆筒状的真空容器的一方端部；可动侧电极棒，该可动侧电极棒以能自由进退的方式设于所述真空容器的另一方端部；环状的固定侧线圈电极及可动侧线圈电极，该固定侧线圈电极及可动侧线圈电极分别设于所述固定侧电极棒和所述可动侧电极棒的相对端，并通过通电而在沿着所述固定侧电极棒和所述可动侧电极棒的轴线的方向上产生轴向磁场；以及触点，该触点分别设于所述固定侧线圈电极和所述可动侧线圈电极的相对侧，其特征在于，所述固定侧线圈电极和所述可动侧线圈电极包括：环部，该环部与所述轴线同心地设于与所述轴线正交的平面上；多根臂部，这些臂部从所述环部的外周朝外侧延伸；圆弧状的线圈部，该线圈部从所述臂部的前端侧朝周向折曲；以及狭缝部，该狭缝部分割所述线圈部，所述固定侧线圈电极的臂部和所述可动侧线圈电极的臂部以从所述固定侧电极棒及所述可动侧电极棒的轴向观察时彼此重叠的方式朝相同方向配置。