| 摘要 |
<p>일 실시 예에 따르는 헬리컬공명플라즈마 안테나가 개시된다. 상기 헬리컬공명플라즈마 안테나는 서로 다른 양측 단부를 구비하는 복수의 나선형 코일을 포함한다. 상기 복수의 나선형 코일은, 상기 복수의 나선형 코일이 공유하는 중심축에 대하여 서로 대칭적으로 배치된다. 상기 복수의 나선형 코일은 상기 각각의 나선형 코일에 대하여, 상기 양측 단부 중 일 단부는 RF 전원에 접속되며 다른 단부는 개방되며, 상기 양측 단부 사이의 상기 나선형 코일의 몸체부에 접지 단자가 배치되고, 상기 복수의 나선형 코일은 상기 RF 전원에 각각 병렬 연결된다.</p> |
