定量测量区域的表面精度的方法和装置

摘要

本发明提供了一种定量测量区域的表面精度的方法。该方法包括将单色平光波朝向预设表面区域引导，用聚焦在所述表面区域上的相机和透镜系统记录反射光，从记录的图像中推导出表面精度参数。所述方法的特征在于通过获得所记录的图像的傅里叶变换来确定所述表面精度参数。然后，将预先确定的傅里叶分量拟合到所述傅里叶变换的傅里叶谱，其中沿着所述傅里叶变换的长轴和跨过所述傅里叶变换的短伸长轴来将所述傅里叶分量确定为至少一个大高斯分量和所述谱的一个峰。然后，从所述傅里叶分量确定所述表面区域的表面精度参数。

主权项

一种用于定量测量区域的表面精度的方法，包括：‑将单色平光波引导向预定义的表面区域；‑用聚焦在所述表面区域上的相机和透镜系统来记录反射光的图像；‑从记录的图像中推导处表面精度参数；其特征在于所述表面精度参数按照下面的方法来确定：‑获得所记录的图像的傅里叶变换；‑将预先确定的傅里叶分量拟合到所述傅里叶变换的傅里叶谱；其中沿着所述傅里叶变换的长轴和跨过所述傅里叶变换的短伸长轴来将所述傅里叶分量确定为至少一个大高斯分量和所述谱的一个峰；‑根据所述傅里叶分量来确定所述表面区域的表面精度参数。