发明名称 |
飞秒激光微形貌加工装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种飞秒激光微形貌加工装置,包括自动化机械手和飞秒激光装置;所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持;所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜,沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜;加工工件时热影响区小、作用时间短,极大提高了形貌加工的精度,同时实现了真正意义上的非热熔性冷加工。 |
申请公布号 |
CN204711399U |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
申请号 |
CN201520241843.0 |
申请日期 |
2015.04.21 |
申请人 |
天津纳微华瑞科技有限公司 |
发明人 |
豆照良;唐啸鸣 |
分类号 |
B23K26/0622(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I |
主分类号 |
B23K26/0622(2014.01)I |
代理机构 |
北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 |
代理人 |
张淑贤;毛军 |
主权项 |
一种飞秒激光微形貌加工装置,其特征在于,包括自动化机械手和飞秒激光装置;所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持;所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜,沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜。 |
地址 |
300350 天津市津南区海河工业区聚兴道9号7号楼2181 |