发明名称 飞秒激光微形貌加工装置
摘要 本实用新型公开了一种飞秒激光微形貌加工装置,包括自动化机械手和飞秒激光装置;所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持;所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜,沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜;加工工件时热影响区小、作用时间短,极大提高了形貌加工的精度,同时实现了真正意义上的非热熔性冷加工。
申请公布号 CN204711399U 申请公布日期 2015.10.21
申请号 CN201520241843.0 申请日期 2015.04.21
申请人 天津纳微华瑞科技有限公司 发明人 豆照良;唐啸鸣
分类号 B23K26/0622(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I 主分类号 B23K26/0622(2014.01)I
代理机构 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 代理人 张淑贤;毛军
主权项 一种飞秒激光微形貌加工装置,其特征在于,包括自动化机械手和飞秒激光装置;所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持;所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜,沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜。
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