| 摘要 |
<p>디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 기판 상에 형성된 복수의 디스플레이 셀들에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 검사 챔버와, 상기 검사 챔버의 일측에 배치되며 상기 검사 공정에 사용되는 프로브 카드들을 각각 수납하는 복수의 카드 수납 챔버들을 포함하는 프로브 카드 수납부와, 상기 프로브 카드들 중 하나를 선택하여 상기 검사 챔버로 이송하기 위한 프로브 카드 이송부를 포함한다. 상기 카드 수납 챔버들은 수직 방향으로 적층되고, 불활성 가스 분위기로 유지되는 서로 격리된 수납 공간을 각각 갖는다.</p> |
