传感器基板、其制造方法和具有传感器基板的显示装置

摘要

本发明公开了传感器基板、其制造方法和具有传感器基板的显示装置。传感器基板包括：基底基板以及基底基板上的感测晶体管和开关晶体管。感测晶体管包括：第一栅电极、第一栅电极上的光学响应图案、光学响应图案上的并且彼此隔开的第一源电极和第一漏电极、第一源电极和光学响应图案之间的第一氧化物半导体图案、以及第一漏电极和光学响应图案之间的第二氧化物半导体图案。开关晶体管包括：第二栅电极、第二栅电极上的第三氧化物半导体图案、以及第三氧化物半导体图案上彼此隔开的第二源电极和第二漏电极。

主权项

一种传感器基板，包括：基底基板；所述基底基板上的感测晶体管；以及所述基底基板上的开关晶体管，所述感测晶体管包括：第一栅电极；所述第一栅电极上的光学响应图案；第一源电极和第一漏电极，位于所述光学响应图案上并且彼此间隔开；第一氧化物半导体图案，介于所述第一源电极和所述光学响应图案之间；以及第二氧化物半导体图案，介于所述第一漏电极和所述光学响应图案之间，所述开关晶体管包括：第二栅电极；所述第二栅电极上的第三氧化物半导体图案；以及第二源电极和第二漏电极，位于所述第三氧化物半导体图案上并且彼此间隔开。