| 发明名称 |
感光化射线或感放射线树脂组成物及使用该组成物之图案形成方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI501983 |
申请公布日期 |
2015.10.01 |
| 申请号 |
TW099131540 |
申请日期 |
2010.09.17 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 |
发明人 |
饭塚裕介;高桥秀知;白川三千紘;吉留正洋;平野修史 |
| 分类号 |
C08F220/10;G03F7/11;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F220/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;丁国隆 台北市大安区敦化南路2段77号8楼 |
| 主权项 |
一种感光化射线或感放射线树脂组成物，其包含：一种树脂，其含有重复单元(A)，该重复单元(A)具备：含因酸之作用分解而产生硷溶性基之结构部分(S1)、及因硷显影剂之作用分解而溶入硷显影剂中之速度增加的结构部分(S2)；及一种在经光化射线或放射线曝光时产生酸之化合物；其中构造部分(S2)系包含5至7员环内酯结构与其他环构造以形成双环构造或螺构造的形式之缩环构造；结构部分(S1)系键结至与构成内酯结构的酯基相邻的两个碳原子之至少一者。
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| 地址 |
日本 |
