具有气隙的结构的形成方法;METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURE HAVING AIR GAP

摘要

一种具有气隙的结构的形成方法，包括下列步骤。在基底的图案区中形成多个图案。在基底上形成牺牲层，且牺牲层的上表面低于图案的上表面，而暴露出图案的多个上部。形成覆盖牺牲层及图案的上部的硬罩幕层。对硬罩幕层进行回蚀刻制程，以暴露出图案区以外的牺牲层，且留在图案区中的硬罩幕层封住图案的上部之间的开口。移除牺牲层，而在相邻两个图案之间形成气隙。