| 发明名称 |
SHOWERHEAD HAVING A DETACHABLE GAS DISTRIBUTION PLATE |
| 摘要 |
<p>분리 가능한 가스 분배 플레이트를 갖는 샤워헤드들의 실시예들이 본원에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 반도체 프로세싱 챔버에서 사용하기 위한 샤워헤드는, 제 1 측 및 제 2 측을 갖는 베이스; 베이스의 제 2 측에 근접하여 배치된 가스 분배 플레이트; 가스 분배 플레이트를 베이스에 제거 가능하게 커플링시키기 위해 가스 분배 플레이트의 둘레 엣지 주위에 배치된 클램프; 및 베이스와 가스 분배 플레이트 사이에 배치된 열 가스킷을 포함할 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150109463(A) |
申请公布日期 |
2015.10.01 |
| 申请号 |
KR20157022777 |
申请日期 |
2014.01.16 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LUBOMIRSKY DMITRY;KNYAZIK VLADIMIR;NOORBAKHSH HAMID;DELLA ROSA JASON;YE ZHENG JOHN;SUN JENNIFER Y.;BANDA SUMANTH |
| 分类号 |
H01L21/02;B05B1/00;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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