| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Untersuchen eines Meßobjektes (2, 12), bei dem das Meßobjekt (2, 12) mit einer Meßsonde (10) einer Rastersondenmeßeinrichtung rastersondenmikroskopisch untersucht wird und bei dem zumindest ein Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) in einem optischen Meßsystem zugeordneten Beobachtungsbereich optisch mit dem optischen Meßsystem untersucht wird, wobei eine durch die rastersondenmikroskopische Untersuchung verursachte Verlagerung des zumindest einen Teilabschnittes (1) des Meßobjektes (2, 12) aus dem Beobachtungsbereich heraus korrigiert wird, derart, daß der zumindest eine verlagerte Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) mit Hilfe einer Nachstelleinrichtung, welche die Verlagerung charakterisierende Datensignale verarbeitet, wieder in dem Beobachtungsbereich angeordnet wird.</p> |
