发明名称 用于光导板的压模的生产方法
摘要 公开了一种用于光导板的压模的生产方法,其中该方法包括以下步骤:清洁导体层淀积层;用导电材料来镀导体层;在镀层上旋涂光致抗蚀剂;放置所需的图形掩模,曝光并显影;在光致抗蚀剂被部分去除的部分中湿刻蚀镀层;去除剩余的光致抗蚀剂;通过镍镀所完成的图形表面来制造母版;以及脱模母版并再次镍镀所脱模的母版以生产压模。
申请公布号 CN1786746A 申请公布日期 2006.06.14
申请号 CN200410103616.8 申请日期 2004.12.29
申请人 泰山LCD株式会社 发明人 崔泰现
分类号 G02B5/02(2006.01);G03F7/20(2006.01);G02F1/1335(2006.01) 主分类号 G02B5/02(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 王学强
主权项 1.一种用于光导板的压模的生产方法,该方法包括以下步骤:清洁导体层淀积层;用导电材料来镀导体层;在所述镀层上旋涂光致抗蚀剂;放置所需的图形掩模,曝光并显影;在光致抗蚀剂被部分去除的部分中湿刻蚀镀层;去除剩余的光致抗蚀剂;通过镍镀所完成的图形表面来制造母版;以及脱模母版并再次镍镀所脱模的母版以产生压模。
地址 韩国京畿道