发明名称 |
用于光导板的压模的生产方法 |
摘要 |
公开了一种用于光导板的压模的生产方法,其中该方法包括以下步骤:清洁导体层淀积层;用导电材料来镀导体层;在镀层上旋涂光致抗蚀剂;放置所需的图形掩模,曝光并显影;在光致抗蚀剂被部分去除的部分中湿刻蚀镀层;去除剩余的光致抗蚀剂;通过镍镀所完成的图形表面来制造母版;以及脱模母版并再次镍镀所脱模的母版以生产压模。 |
申请公布号 |
CN1786746A |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
申请号 |
CN200410103616.8 |
申请日期 |
2004.12.29 |
申请人 |
泰山LCD株式会社 |
发明人 |
崔泰现 |
分类号 |
G02B5/02(2006.01);G03F7/20(2006.01);G02F1/1335(2006.01) |
主分类号 |
G02B5/02(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王学强 |
主权项 |
1.一种用于光导板的压模的生产方法,该方法包括以下步骤:清洁导体层淀积层;用导电材料来镀导体层;在所述镀层上旋涂光致抗蚀剂;放置所需的图形掩模,曝光并显影;在光致抗蚀剂被部分去除的部分中湿刻蚀镀层;去除剩余的光致抗蚀剂;通过镍镀所完成的图形表面来制造母版;以及脱模母版并再次镍镀所脱模的母版以产生压模。 |
地址 |
韩国京畿道 |