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发明名称 AN ELLIPSOMETRY DEVICE USING SPECTRAL IMAGING AND ELLIPSOMETRY METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20050075094(A) 申请公布日期 2005.07.20
申请号 KR20040002880 申请日期 2004.01.15
申请人 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE 发明人 JE, GAL WON;CHO, HYON MO;CHO, YONG JAE;LEE, YOON WOO
分类号 G01J3/447;G01J4/00;G01J4/04;G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01J3/447
代理机构 代理人
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