发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065718(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920165060 申请日期 1992.06.23
申请人 SHARP CORP 发明人 ORITA SHIROHIKO;ONISHI SHIGEO;SAKIYAMA KEIZO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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