搬送单元的示教方法、存储介质及基板处理装置

摘要

本发明提供搬送单元的示教方法、存储介质和基板处理装置，将保持多枚晶片的载体由搬送臂载置到基板处理装置内的载置台时，正确且简易地进行相对于载置台的载体的定位。在搬送载体前，在形成开口部的载置台上，将与载体相同形状且具备在载置台上方理想位置正确定位时拍摄区域中心位置与该开口部相对的照相机的载体夹具保持于搬送臂上的保持部。搬送臂的保持部将搬送臂移动到预定的下降开始位置，由照相机拍摄包含开口部的区域。计算在预定的下降开始位置和下降开始位置的理想位置之间，开口部的中心位置和照相机的拍摄区域的中心位置在水平方朝上的偏移量，将该偏移量作为补正量对保持部的下降开始位置进行修正并将载体载置到载置台上。

主权项

1. 一种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中使用的对搬送单元进行示教的方法，所述基板处理装置包括：载置收纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持所述搬送容器的保持部和驱动部，用于与所述载置部交接搬送容器；坐标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系统坐标上的所述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部，所述搬送单元的示教方法的特征在于，包括：将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持部的预先设定的位置的工序；接着，使所述搬送单元的保持部移动到作为预先决定的使保持部下降的开始位置的下降开始位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部位于所述下降开始位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置进行比较，获取下降开始位置的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下降开始位置进行补正，获取与所述保持部的补正后的下降开始位置相对应的所述驱动系统坐标上的坐标位置。