发明名称 |
用于降低卤代硅烷中元素如硼的含量的方法以及用于实施该方法的装置 |
摘要 |
本发明涉及用于降低卤代硅烷中元素如硼的含量的方法以及用于实施该方法的装置。本发明涉及一种用于降低工业纯的卤代硅烷中的周期表第三主族元素的含量、特别是含硼和/或含铝的化合物的含量的方法,以制备经纯化的卤代硅烷,特别是超高纯的氯硅烷。此外本发明还涉及一种用于实施该方法的装置。具体地,本发明涉及一种用于降低工业纯的卤代硅烷中的周期表第三主族元素的含量以制备经纯化的卤代硅烷的方法,该方法包括下列步骤:a)将待纯化的卤代硅烷与三苯基氯甲烷相混合以形成在卤代硅烷中难溶的络合物,b)通过机械作用分离所形成的难溶络合物以得到经纯化的卤代硅烷。 |
申请公布号 |
CN101486463A |
申请公布日期 |
2009.07.22 |
申请号 |
CN200910002234.9 |
申请日期 |
2009.01.13 |
申请人 |
赢创德固赛有限责任公司 |
发明人 |
E·穆;H·劳莱德;R·肖尔克 |
分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
温宏艳;李连涛 |
主权项 |
1. 一种用于降低工业纯的卤代硅烷中的周期表第三主族元素的含量以制备经纯化的卤代硅烷的方法,该方法包括下列步骤:a)将待纯化的卤代硅烷与三苯基氯甲烷相混合以形成在卤代硅烷中难溶的络合物,b)通过机械作用分离所形成的难溶络合物以得到经纯化的卤代硅烷。 |
地址 |
德国埃森 |