玻片折射率与厚度之量测方法

摘要

本发明系揭露一种量测玻片折射率与厚度之装置，其适用于量测一玻片之折射率，此量测玻片折射率与厚度之装置包含一雷射干涉仪、一第一分光模组、一动力模组、一第二分光模组、一量测模组及一处理模组。镭射干涉仪系用以发出一雷射光，第一分光模组系分离并反射雷射光以产生第一第一光程差，动力模组系用以翻转此玻片以折射已分离之雷射光，第二分光模组系用以分离并反射此已分离之雷射光以产生第二光程差，量测模组系用以量测一光折射偏移量，处理模组系依据此第一光程差、第二光程差及光折射偏移量以计算玻片之厚度及折射率。