发明名称 MICROMECHANICAL DEVICE COMPRISING A MOBILE BEAM
摘要
申请公布号 EP1846320(B8) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP20060709238 申请日期 2006.02.02
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FLEURY, GATIEN;CHARVET, PIERRE-LOUIS
分类号 B81B3/00;H01H50/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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