利用多层基板固定器结构的装载锁定腔室的薄膜蒸镀装置

摘要

本发明的目的在于，提供在对大量基板进行涂敷后，不需要经常除去目标所处的腔室内的微粒的ITO涂敷等的单膜或3～5层左右的薄膜系统制造非常容易的利用多层基板固定器结构的装载锁定腔室的薄膜蒸镀装置。该装置包括：多层基板固定器安装室(MSSHR)，其安装有用于真空的薄膜蒸镀的多个基板；多层基板固定器(MSSH)，其由各自固定从上述多层基板固定器安装室安装的上述基板的多个基板固定器构成，且在上述基板固定器的一侧的一定位置分别形成有第一突出部及第二突出部；第一直线移送驱动部(MUMG)；第二直线移送驱动部(MUGL)；蒸镀移送驱动部；以及薄膜蒸镀腔室(CMS)。

主权项

1.一种利用多层基板固定器结构的装载锁定腔室的薄膜蒸镀装置，其包括：多层基板固定器安装室(MSSHR)，其安装有用于真空的薄膜蒸镀的多个基板；多层基板固定器(MSSH)，其由各自固定从上述多层基板固定器安装室安装的上述基板的多个基板固定器构成，且在上述基板固定器的一侧的一定位置分别形成有第一突出部及第二突出部；第一直线移送驱动部(MUMG)，其从上述多层基板固定器(MSSH)抽出基板固定器，使上述基板固定器向闸门阀(gate valve)移动，且在一侧的一定位置具备第一钩(first hook)；第二直线移送驱动部(MUGL)，其使所述基板固定器从上述闸门阀向基板蒸镀待机室(LSCS)移动，且在一侧的一定位置具备第二钩(secondhook)；蒸镀移送驱动部，其在上述基板固定器安装于上述基板蒸镀待机室内的所述蒸镀移送驱动部(SHMU)后，向自身的机械性原位置(homeposition)移动；以及薄膜蒸镀腔室(CMS)，其在上述基板固定器在目标的位置通过上述蒸镀移送驱动部进行往返运动的过程中，进行蒸镀作业。