一种空气绝热薄膜式红外传感器

摘要

本发明涉及红外传感器领域，提供一种空气绝热薄膜式红外传感器，包括硅衬底及其上的传感光敏区，该传感光敏区包括支撑层、上下电极、热释电薄膜、钝化层和红外吸收层，其中：所述的硅衬底上形成有空腔，该空腔内的空气形成绝热层，空腔上放置有桥腿，所述的光敏传感区通过桥腿支撑悬浮在空腔之上。本发明通过在衬底上形成空腔，该空腔上设置桥腿，所述的传感器光敏区通过该桥腿悬浮支撑在空腔之上，从而光敏区与衬底不是直接接触，而是以空腔里的空气作为绝热层，使传感器与衬底间的热损失小，提高传感器的灵敏度，非常适用于高灵敏度的红外线探测领域。

主权项

一种空气绝热薄膜式红外传感器，包括硅衬底及其上的传感光敏区，该传感光敏区包括支撑层、上下电极、热释电薄膜、钝化层和红外吸收层，其特征在于：所述的硅衬底上形成有空腔，该空腔内的空气形成绝热层，空腔上设置有桥腿，所述的光敏传感区通过桥腿支撑悬浮在空腔上。