| 发明名称 |
判断微影系统之照射器之照射强度轮廓之装置及方法 |
| 摘要 |
一种产生照射器(14)之照射强度轮廓之系统(30)及方法，该照射器(14)形成投射微影系统(10)之一部分。投射由该照射器产生之辐射至具有复数个开孔(34)之照射轮廓光罩(32)上，使得每个开孔都递送该辐射之特定部分。检测辐射之每个特定部分的强度，然后组合而形成照射强度轮廓。 |
| 申请公布号 |
TWI357612 |
申请公布日期 |
2012.02.01 |
| 申请号 |
TW094113377 |
申请日期 |
2005.04.27 |
| 申请人 |
格罗方德半导体公司 美国 |
发明人 |
史班斯 克里斯托夫Ａ;路肯斯 托德Ｄ;卡波迪耶西 路易奇;瑞恩 乔治;麦哥温 莎拉Ｎ |
| 分类号 |
H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
