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发明名称
固态成像装置及其制造方法
摘要
本发明揭示一种固态成像装置,其包含一光电转换单元、一电晶体及一分隔该光电转换单元与该电晶体之元件分隔区。该光电转换单元与该电晶体构成一像素。该元件分隔区系由一具有一与该电晶体之一源极区及一汲极区之导电类型相反之导电类型之半导体区形成。该电晶体之一闸电极之一部分朝向该元件分隔区侧突出超出该电晶体之一主动区。一具有一与该电晶体之闸电极之一闸极绝缘膜之厚度大致相同之厚度之绝缘膜形成于自其在该电晶体之闸电极下方之一部分延续至其自在该电晶体之闸电极下方之该部分延续之一部分之该元件分隔区上。
申请公布号
TWI359501
申请公布日期
2012.03.01
申请号
TW097118401
申请日期
2008.05.19
申请人
新力股份有限公司 日本
发明人
糸长总一郎
分类号
H01L27/146
主分类号
H01L27/146
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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