| 摘要 |
本发明可以低价之构成，一面将大型基板稳定且顺畅地搬送，一面施加乾燥处理。本发明之基板乾燥装置包含：搬送基板W之基板搬送机构；及斜向横越该基板搬送机构之基板W之搬送路径之风刀16。基板搬送机构包含：配置于风刀16之上游侧区域EA之上游侧辊群；设于风刀16之下游侧区域EB之下游侧辊群；驱动系统50；及具有辅助辊76之辅助支持装置70。各辊群分别包含单位辊群G1~G3、G4~G6，该等包含具有相同长度之复数支搬送辊；各单位辊群G1~G3、G4~G6中之搬送辊之长度，系设定为在上游侧辊群中越是上游侧之单位辊群则越长，而在下游侧辊群中越是上游侧之单位辊群则越短。又，辅助支持装置70系配置于上游侧及下游侧之各辊群与风刀16之间所形成之空间S1~S4内。 |
