| 摘要 |
Ein Proben-Beobachtungsverfahren umfasst: ein Platzieren einer Probenstufe bei einem ersten Neigungswinkel mit Bezug auf einen Ladungspartikelstrahl, und ein Bestrahlen von einer Beobachtungsfläche einer Probe mit dem Ladungspartikelstrahl, um ein erstes Ladungspartikel-Bild zu erlangen; ein Neigen der Probenstufe auf einen zweiten Neigungswinkel, welcher sich vom ersten Neigungswinkel unterscheidet, um eine erste Probenstufen-Achse, und ein Bestrahlen der Beobachtungsfläche mit dem Ladungspartikelstrahl, um ein zweites Ladungspartikel-Bild zu erlangen; ein Neigen der Probenstufe auf einen Neigungswinkel, bei welchem ein Bereich der Beobachtungsfläche in dem erlangten Ladungspartikel-Bild zwischen dem ersten Ladungspartikel-Bild und dem zweiten Ladungspartikel-Bild größer ist; und ein Bestrahlen der Beobachtungsfläche mit dem Ladungspartikelstrahl, um die Beobachtungsfläche zu beobachten.
|
